특허권

레이저 리프트 오프 방법을 이용한 산화물 박막 소자의 제조 방법 및 이로부터 제조된 산화물 박막 소자

상품번호 2021033119065496
IPC 한국(KO) 등록
출원번호 1020120063205
등록번호 1013375150000
출원인 한국과학기술연구원
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꼭 읽어보세요!

기술거래는 양방향 경매방식으로 이루어집니다.

기술을 매수한 당사자는 거래금액의 전부 혹은 10퍼센트(%)를 당일 본원에 입금하여야 하며, 10% 나머지 잔금은 거래일로부터 2일 이내(거래일 익일)에 납부하여야 합니다. 만약 위 지정 기간내에 매수자가 입금하지 않으면 거래는 무효가 되며, 잔금도 기한내에 입금되지 않으면 매도자로 귀속됩니다. 이는 매도자의 기한의 이익상실을 보장함 입니다.

기술거래의 수수료는 기술의 이전 및 사업화 촉진에 관한 법률 시행규칙 산업통상자원부령 제48호 의거 기술이전 금액의 13퍼센트∼기술이전 금액의 17.5퍼센트로 되어있지만, 본 거래사이트에서는 매도‧매수인 각각 10%로 합니다.
이때 매수인의 매수금액(당사로 입금되는 금액)에서 수수료 각각10% 인 20%를 공제한 후 매도인에게 계좌이체를 하여야 합니다.
또한 권리이전(특허)비용은 기술양수인(매수자)부담이며 그 비용은 별도입니다.

 
본 발명은 레이저 리프트 오프 방법을 이용한 산화물 박막 소자의 제조 방법 및 이로부터 제조된 산화물 박막 소자에 관한 것으로, 본 발명에 따른 산화물 박막 소자의 제조방법은 성장 기판 상에 산화물 박막을 형성하는 단계; 상기 산화물 박막에 임시 기판을 접합하는 단계; 상기 성장 기판 상에 레이저를 조사하여 상기 성장 기판으로부터 상기 임시 기판이 접합된 산화물 박막을 분리하는 단계; 상기 분리된 임시 기판이 접합된 산화물 박막에 소자 기판을 접합하는 단계; 상기 임시 기판을 분리하는 단계; 및 상기 산화물 박막에 상부 전극막을 형성하는 단계를 포함하며, 이와 같은 방법은 레이저 리프트 오프시 폴리머 계열의 임시 기판에 전사한 산화물 박막을 소자 기판에 다시 전사시켜 레이저 리프트 오프시 산소 확산으로 인하여 형성되는 결함층이 형성된 계면을 사용하지 않아, 결함층의 문제를 해소할 수 있다.

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