특허권

다이아몬드 합성을 위한 화학기상증착 장치 및 이를 이용한 다이아몬드 합성 방법

상품번호 2021010607580432
IPC 한국(KO) 등록
출원번호 1020120037503
공개번호 10-2013-0114994
등록번호 1013206200000
출원인 한국과학기술연구원
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꼭 읽어보세요!

기술거래는 양방향 경매방식으로 이루어집니다.

기술을 매수한 당사자는 거래금액의 전부 혹은 10퍼센트(%)를 당일 본원에 입금하여야 하며, 10% 나머지 잔금은 거래일로부터 2일 이내(거래일 익일)에 납부하여야 합니다. 만약 위 지정 기간내에 매수자가 입금하지 않으면 거래는 무효가 되며, 잔금도 기한내에 입금되지 않으면 매도자로 귀속됩니다. 이는 매도자의 기한의 이익상실을 보장함 입니다.

기술거래의 수수료는 기술의 이전 및 사업화 촉진에 관한 법률 시행규칙 산업통상자원부령 제48호 의거 기술이전 금액의 13퍼센트∼기술이전 금액의 17.5퍼센트로 되어있지만, 본 거래사이트에서는 매도‧매수인 각각 10%로 합니다.
이때 매수인의 매수금액(당사로 입금되는 금액)에서 수수료 각각10% 인 20%를 공제한 후 매도인에게 계좌이체를 하여야 합니다.
또한 권리이전(특허)비용은 기술양수인(매수자)부담이며 그 비용은 별도입니다.

 
본 발명은 화학기상증착 공정을 통해 다이아몬드를 합성함에 있어서 기판 온도의 상승을 억제함과 동시에 다이아몬드 합성 기체 또는 이온의 활성화 정도를 향상시킴으로써 다이아몬드의 성장속도를 증가시킬 수 있는 다이아몬드 합성을 위한 화학기상증착 장치 및 이를 이용한 다이아몬드 합성 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 다이아몬드 합성을 위한 화학기상증착 장치는 화학기상증착 공정이 진행되는 챔버와, 상기 챔버 내에 구비되며, 다이아몬드의 성장 공간을 제공하는 기판 및 상기 기판 상부의 이격된 위치에 구비되는 열차단 구조물을 포함하여 이루어지며, 상기 열차단 구조물은 전구체 가스가 이동될 수 있는 개구부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

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